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微機電(MEMS)技術應用橫跨多項產業,坊間各項報告內容雖多,但對於不同領域之系統產品,往往僅見文字說明內容,或文內刊載之影像圖形不夠清晰。故本文特別針對MEMS主要發展與應用,利用圖解及淺顯文字之方式作一說明。本文內容主要摘錄自日本經濟產業省產業環境局之技術調查報告內容,原文不足的地方也參考其他文件、網站資料或由作者做過修改。 Lab on Chip [...]
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