先進封裝持續深化,晶圓減薄、鍵合工序日趨關鍵
摘要
本篇報告主要在分析Chiplet設計何以成為高效能運算晶片的主流解決方案,同時探討該設計帶動的矽穿孔、混合鍵合技術與晶背供電設計需求,並分析其如何使晶圓減薄、鍵合工序日趨關鍵。
一. Chiplet設計是目前打造高效能運算晶片的唯一解決方案
二. 2.5D/3D封裝成主流,矽穿孔、混合鍵合、晶背供電定勝負
三. 關鍵封裝技術與創新設計將帶動晶圓減薄與鍵合工序需求
四. 拓墣觀點
圖一 2008~2028年製程節點與閘極間距變化
圖二 小晶片設計架構示意圖
圖三 2.5D封裝架構示意圖
圖四 台積電CoWoS-L+SoIC 3D封裝架構示意圖
圖五 CoWoS封裝架構與HBM之TSV示意圖
圖六 AMD MI300 GPU透過混合鍵合技術接合CCD與IDO
圖七 晶片正面供電與背面供電設計示意圖
圖八 混合鍵合步驟
圖九 晶背供電設計之製造路徑示意圖
表一 晶圓減薄、鍵合工序需求攀升下有望受惠之供應商舉要
