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第三代半導體產業鏈可分為襯底材料製備、外延生長、元件製造與下游應用,其中襯底材料的電學性能決定下游晶片功能與性能的優劣。根據電學性能不同,SiC襯底可分為導電型(N-Type)和高純半絕緣型(HPSI [...]
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